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水汽捕集泵也稱為真空鍍膜冷凍機(jī)，POLYCOLD，快速循環(huán)水汽冷凍機(jī)，超低溫捕集泵，等

應(yīng)用原理:

在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，但其抽除殘余

氣體的能力低，時(shí)間長(zhǎng)，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷泵則是解決這類問

題的上佳選擇。

深冷泵的工作原理：將一個(gè)能到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應(yīng)，

迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時(shí)間（可縮短60-90%的抽氣時(shí)間）、獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可

提高半個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到10-8 Torr、10-5 Pa)。

在實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中，根據(jù)所放的位置不同可以分為兩類（見圖）：

1、水汽捕集器

它的制冷盤管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi)、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被

鍍膜材料放氣量較大的場(chǎng)合。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復(fù)到常溫，避免低溫盤管從大氣中吸收大量

的水汽而結(jié)霜，影響下次抽真空。

2、低溫冷阱

放在油擴(kuò)散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴(kuò)散泵返油，同時(shí)也可以加快抽速、提高真空度。由于系統(tǒng)處于真空

狀態(tài)，無需除霜裝置。

根據(jù)需要,二者可以分別安裝也可以同時(shí)安裝.

本公司研發(fā)生產(chǎn)的-135℃深冷水汽捕集泵，采用單臺(tái)壓縮機(jī)、自動(dòng)復(fù)疊制冷方式、進(jìn)口名牌壓縮機(jī)及制冷配件、環(huán)�；旌闲�

制冷劑生產(chǎn)，替代液氮，節(jié)約成本。具有制冷速度快、效率高、溫度低、維護(hù)方便等特點(diǎn)，其性能指標(biāo)在國(guó)內(nèi)處于領(lǐng)先地

位，達(dá)到甚至超過國(guó)際先進(jìn)水平。

主要的性能特點(diǎn)

1、快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時(shí)間60-90%；

2、降溫迅速，3分鐘內(nèi)制冷到-120℃，最低可到-150℃；

3、2分鐘熱氣除霜，迅速回溫，5分鐘可再降溫;

4、一臺(tái)設(shè)備可設(shè)計(jì)兩路負(fù)載輸出；

5、進(jìn)口壓縮機(jī)，環(huán)�；旌闲椭评鋭�;

6、完善的自動(dòng)化控制；

7、具有兩路負(fù)載入口和出口溫度顯示、本機(jī)溫 度顯示；

8、當(dāng)待機(jī)溫度到達(dá)后有指示燈提示，可以開始制冷；

9、除霜溫度自由設(shè)定；

10、具有水溫溫度、排氣溫度顯示；

11、缺水、水溫過高報(bào)警；

12、壓縮機(jī)排氣過高、壓力過高保護(hù)；

13、電源斷電、缺相報(bào)警；

14、可本地、遠(yuǎn)程控制自由轉(zhuǎn)換；

15、R232計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)接口，計(jì)算機(jī)可讀取溫度數(shù)據(jù)及控制。

型 號(hào)	AL232110	AL232111	AL232112	AL232113	AL232114	AL232115
壓縮機(jī)功率(KW)	2.8	4.6	6.3	8.5	10.1	12.3
工作溫度（℃）	-120℃至-150℃
抽氣速度（l/s）	30600	51000	73,000	101,000	153,000	250,000
制冷量（W）	300	500	1200	1800	2500	3500
冷凝管表面積(m2)	0.15	0.3	0.5	0.7	1.0	2. 0
冷凝管長(zhǎng)度	8m,φ6mm	10m,φ10mm	12m,φ12mm	14m,φ16mm	24m,φ16mm	40m,φ16mm
預(yù)冷時(shí)間（min）	≤30	≤30	≤30	≤30	≤40	≤40
降溫時(shí)間（min）	≤5	≤5	≤5	≤5	≤6	≤7
除霜時(shí)間(min)	≤3	≤3	≤3	≤3	≤3	≤3
再降溫時(shí)間(min)	≤5	≤5	≤5	≤5	≤6	≤6
適用油擴(kuò)散泵徑（mm）	≤300	≤500	≤800	≤1000	雙路輸出	雙路輸出
冷卻方式	風(fēng)冷、水冷(t≤30℃)		水冷(t≤30℃)	水冷(t≤30℃)	水冷(t≤30℃)	水冷(t≤30℃)
適用腔體直徑（mm）	≤900		≤1300	≤1500	≤1700	≤2000